氣體中去除塵粒常用的方法是過(guò)濾法，其過(guò)濾機(jī)理是利用流過(guò)各種過(guò)濾材料(元件)的氣體，主要受到擴(kuò)散、攔截和撞碰沖擊的作用，將氣體中夾帶的塵粒去除。一般要求氣體過(guò)濾器將某一規(guī)定粒徑的微粒幾乎是全部去除，因此過(guò)濾效率都要求 6 個(gè) 9 以上。

氣體過(guò)濾器的種類(lèi)較多，按照氣體過(guò)濾器的過(guò)濾精度劃分，目前較為流行的是按去除的塵粒粒徑及過(guò)濾效率來(lái)標(biāo)注，如去除氣體中≥0.01μm 的塵粒的過(guò)濾效率達(dá) 99.999 999%以上等。

若按過(guò)濾材料的不同，又可分為多孔金屬過(guò)濾器、多孔玻璃或陶瓷過(guò)濾器、纖維濾芯過(guò)濾器、微孔濾膜過(guò)濾器、紙過(guò)濾器等。

恒歌氣體過(guò)濾器定制

國(guó)外的某廠家生產(chǎn)的氣體過(guò)濾器，采用 PTFE 濾膜作濾芯，外殼采用內(nèi)壁電拋光 316L 不銹鋼外殼，過(guò)濾精度為 0.05μm，過(guò)濾效率達(dá) 99.999 999%，可用于雜質(zhì)含量為 109級(jí)的高純氣體過(guò)濾。

各種氣體過(guò)濾器的過(guò)濾精度或過(guò)濾效率主要取決于所采用的過(guò)濾元件和過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)。

對(duì)于高精度氣體過(guò)濾器應(yīng)選擇精度高、無(wú)二次污染和去除粒徑符合要求的過(guò)濾元件，并應(yīng)具備優(yōu)良的氣密性、無(wú)滲漏現(xiàn)象的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，即結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)確保不發(fā)生過(guò)濾元件前后的內(nèi)滲和過(guò)濾器內(nèi)外的滲漏，使氣體過(guò)濾器的性能基本達(dá)到過(guò)濾元件的過(guò)濾精度，氣體過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)應(yīng)做到氣密性好、牢固、可靠和便于清洗、更換過(guò)濾元件。

別人還看了：

• 實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)過(guò)濾器丨實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)氣體過(guò)濾器
• 恒歌半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器：守護(hù)半導(dǎo)體制造高純氣體潔凈的核心設(shè)備!
• 恒歌半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器：以技術(shù)創(chuàng)新賦能高純氣體潔凈解決方案！
• 從 1.5nm 過(guò)濾到 9N 純度：恒歌氣體過(guò)濾器筑牢半導(dǎo)體潔凈生產(chǎn)防線！
• 半導(dǎo)體真空腔體快速放氣器丨0.003μm氣體擴(kuò)散器過(guò)濾器