?在半導體、光伏、新能源和制藥行業,超高純氣體過濾器已成為氣體輸送系統中不可或缺的組件。國際半導體設備與材料協會(SEMI)在 F20 與 F38 標準中明確指出,氣體管道中顆粒物濃度必須嚴格控制,否則將直接影響工藝良率和設備壽命。隨著芯片...

恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統設計的高性能過濾設備,過濾精度高,耐高壓耐腐蝕耐高溫!

恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成,通過物理吸附相結合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質去除,并且在316L不銹鋼罐體中內置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫...

電子氣作為半導體制造的 “血液”,其純度直接影響芯片的質量與性能。深圳恒歌的特氣柜電子氣氣體過濾器,專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統打造,為電子氣的潔凈輸送提供堅實保障。

在半導體制造過程中,氣體的純度是影響產品質量的關鍵因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗氣體專用過濾器,專為超高純工藝氣體在線過濾而設計,能夠有效去除氣體中的雜質,確保氣體的超高純度。

在工業生產中,壓縮空氣系統的氣體質量直接影響到生產設備的運行效率和產品質量。深圳恒歌的壓縮空氣系統不銹鋼高純氣體過濾器,以其卓越的性能和高效過濾能力,成為提升氣體質量的關鍵設備。該過濾器采用堅固的316L不銹鋼結構,設計壓力高達50Mpa,...

適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運行系統提供了相當高的技術和經濟優勢。產品應用范圍廣,與大多數高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性;微納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降

恒歌不銹鋼高純氣體系統過濾器對于超純氣體可通過多級處理滿足工況要求,產品無焊接部位,耐壓性能、安全系數極高,適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運行系統提供了相當高的技術和經濟優勢。為一些超高壓工況研發設計,具有結構簡...

?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體,能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質,確保氣體的純凈度和質量,為下游工藝提供可靠的氣體供應。

擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規避了湍流產生,對工藝室...

