恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮?dú)獾雀黝惛邏簹怏w,能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì),確保氣體的純凈度和質(zhì)量,為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,真空系統(tǒng)氣體過濾器對(duì)于保障工藝的純凈度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用場景,成為眾多高科技產(chǎn)業(yè)的首選設(shè)備。

DF系列擴(kuò)散器專用過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。它結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流,確保氣體的平穩(wěn)流動(dòng)。這種過濾器的過濾精度高達(dá)0.003μm,能夠有效防止氣流吹起...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù),確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm,...

MF系列儀器保護(hù)專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對(duì)接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...

TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率...

SF系列IGS面板專用過濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003um級(jí)高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級(jí)無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊...

OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,大宗氣體的高效過濾是確保生產(chǎn)流程順暢和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導(dǎo)體、電子、化工等對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域,選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關(guān)重要。恒歌 BF 系列大宗氣體專用過濾器憑借其高通量、低阻力的特性,成為滿足大...

選擇合適的高壓氣體過濾器需綜合考慮氣體性質(zhì)、流量、過濾精度、壓力等多方面因素,以下是具體的選擇方法:
