
潔凈壓縮空氣管道用于電子制造、醫藥包裝、食品加工、精密機械等行業,提供無油、無塵、無水的壓縮空氣,作為生產動力或直接接觸產品的介質,其潔凈度直接影響產品質量與設備壽命。

?半導體氣體裝置是半導體制造的核心設備集群,包括氣體存儲鋼瓶、減壓閥、氣體分配柜(GDC)、流量控制器(MFC)等,負責半導體制程中氣體的存儲、分配、精準輸送,其氣體凈化水平直接決定芯片良率,需滿足 ppb 級甚至 ppt 級的純度要求。

CVD 化學氣相沉積供氣系統是半導體、光伏、精密陶瓷等行業的核心工藝設備,通過將反應氣體精準輸送至沉積腔體,在基材表面形成均勻薄膜,其供氣純度直接決定薄膜質量與器件性能,是高端制造業的關鍵環節。

實驗室超純氣體管道主要用于輸送電子級高純氣體(如高純氬氣、高純氦氣),應用于半導體材料制備、微電子實驗等高端領域,氣體純度直接影響實驗樣品的性能和檢測結果。

驗室氣源(如鋼瓶氣、空壓機)或長距離管道中可能夾帶的顆粒物和液滴,會磨損閥門、堵塞精密噴嘴或污染反應腔室。安裝F直通型過濾器可有效攔截這些污染物,保護下游設備。恒歌過濾器適用于實驗室氣路、實驗室氣體管道、實驗室集中供氣系統工程。

恒歌國產VCR過濾墊片是一種專為高純氣體輸送系統設計的高性能密封元件,廣泛應用于半導體、制藥、化工等對氣體純度要求極高的領域。它通常由316L不銹鋼等優質金屬材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、耐高壓的特性,能夠在高達400C的環境下穩定工作。

集成電路作為電子產業的 “糧食”,通過在半導體晶圓上構建億級晶體管陣列實現數據處理功能,其制程已進入 3nm 甚至 2nm 時代,廣泛應用于 AI 芯片、存儲設備、智能終端等高端領域。晶圓制造需經歷光刻、刻蝕、沉積等數十道精密工序,根據 I...

薄膜沉積過程中,氣體若含有微粒或烴類污染物,會導致薄膜孔洞、剝落或電性失效。例如,在CVD工藝中,顆粒物可能成為成核點,引起不均勻沉積;在PVD中,污染物可能干擾濺射靶材的純度。過濾器能消除湍流和顆粒攜帶問題,確保氣流平穩,防止工藝腔體污染...

?實驗室氣路系統是科研、檢測領域的關鍵基礎設施,為色譜儀、質譜儀、材料分析設備等提供穩定、高純的氣體供應,廣泛應用于半導體材料研發、化學分析、生物醫藥檢測等場景,其氣體潔凈度直接影響實驗數據的準確性。

TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導體領域設計,精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現卓越微粒過濾效率,...

RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器,通過與不同規格的氣阻配件結合,安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中,以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節器故障,引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統中,用于保護氣體流量穩定可靠...

恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級氣體超純凈化設計的高效過濾設備。其過濾精度高達0.003μm,能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質,確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼,結構緊湊、強度高,與多種半導體...