半導體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個工藝環節,不同環節對工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異,單一規格的過濾器難以滿足全場景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器,通過 F 型、T 型、W 型三大類型的細分設計,實現了對半導體多工藝...
半導體潔凈室對氣路系統的密封性要求極高,任何微小的泄漏都可能導致潔凈度下降,影響產品質量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器),以全焊接結構設計為核心,實現了 “零泄漏” 的密封效果,為半導體潔凈室提供可靠的工藝...
在半導體高壓工藝氣路中,氣體的凈化與流量控制往往需要分開設備實現,不僅增加了氣路復雜度,還可能引入額外的泄漏風險。深圳恒歌研發的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥,將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體,為半導體高壓氣路提供 “凈化 + ...
深圳恒歌的不銹鋼真空泵過濾片,是真空系統的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流,還能在短時間內傳遞大量氣體流,確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風,無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝,都...
深圳恒歌的真空卡環過濾器,是真空系統中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流,還能在短時間內傳遞大量氣體流,確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風,無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝,都...
在半導體、LED、光伏及MEMS等高科技產業中,氣體的純度對產品質量和生產效率有著至關重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結工藝領域的深厚積累,精心打造了專為高流量電子級氣體超純凈化設計的特氣柜電子氣氣體過濾器,為這些行業提供了...
恒歌RF 系列多孔金屬限流器通過與不同規格的氣阻配件靈活組合,可便捷安裝于壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中。在半導體制程氣體輸送分配系統等對氣體流量穩定性要求極高的場景下,它能有效防止意外高氣體流量,保護系統穩定可靠運行,減少氣體流動負擔,...
在現代工業生產中,氣體的高純度是保證產品質量和生產效率的關鍵因素之一。深圳恒歌的高效高純分離納米氣體過濾器,采用先進的納米級過濾技術,能夠高效去除氣體中的微小雜質,確保氣體的高純度。該過濾器采用堅固的316L不銹鋼結構,設計壓力高達50Mp...
在半導體制造領域,氣體的純度直接影響著產品的質量和性能。深圳恒歌推出的BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,是高純大流量過濾器的典范。該過濾器采用全316L不銹鋼精密打造,不僅堅固耐用,還具備卓越的耐腐蝕...
在半導體制造過程中,氣體的純度是影響產品質量的關鍵因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗氣體專用過濾器,專為超高純工藝氣體在線過濾而設計,能夠有效去除氣體中的雜質,確保氣體的超高純度。
在半導體制造的超高純工藝中,氣體純度直接決定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗氣體專用過濾器,正是為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾量身定制的核心設備。
在工業生產中,壓縮空氣系統的氣體質量直接影響到生產設備的運行效率和產品質量。深圳恒歌的壓縮空氣系統不銹鋼高純氣體過濾器,以其卓越的性能和高效過濾能力,成為提升氣體質量的關鍵設備。該過濾器采用堅固的316L不銹鋼結構,設計壓力高達50Mpa,...