恒歌擴散器專用不銹鋼過濾器是專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用精心設(shè)計的高性能過濾設(shè)備。它巧妙地融合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,實現(xiàn)了在快速排氣的同時,對微小顆粒的高效過濾,過濾精度高達0.003um,為半導(dǎo)體制造過...
DF系列擴散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,...
RF 系列多孔金屬限流器是一種專為壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管設(shè)計的安全裝置,旨在防止因氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障引起的意外高氣體流量。通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合,RF 系列限流器能夠有效保護氣體流量的穩(wěn)定性和可靠性,減少氣體流...
恒歌RF 系列多孔金屬限流器通過與不同規(guī)格的氣阻配件靈活組合,可便捷安裝于壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)等對氣體流量穩(wěn)定性要求極高的場景下,它能有效防止意外高氣體流量,保護系統(tǒng)穩(wěn)定可靠運行,減少氣體流動負擔,...
適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運行系統(tǒng)提供了相當高的技術(shù)和經(jīng)濟優(yōu)勢。產(chǎn)品應(yīng)用范圍廣,與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性;微納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降
不銹鋼氣源處理器三聯(lián)件由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大元件組成。該產(chǎn)品采用不銹鋼材質(zhì),具有耐腐蝕、結(jié)構(gòu)精巧、工藝精良等特點。空氣過濾器用于凈化氣源,過濾壓縮空氣中的水分和雜質(zhì);
氣壓傳動系統(tǒng)中,氣源處理件是指空氣過濾器、減壓閥和油霧器,三大件無管連接而成的組件稱為三聯(lián)件。三大件是多數(shù)氣動系統(tǒng)中不可缺少的氣源裝置,安裝在用氣設(shè)備近處,是壓縮空氣質(zhì)量的后保證。它的安裝順序依進氣方向分別為空氣過濾器、減壓閥和油霧器。空氣...
恒歌不銹鋼高純氣體系統(tǒng)過濾器對于超純氣體可通過多級處理滿足工況要求,產(chǎn)品無焊接部位,耐壓性能、安全系數(shù)極高,適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運行系統(tǒng)提供了相當高的技術(shù)和經(jīng)濟優(yōu)勢。為一些超高壓工況研發(fā)設(shè)計,具有結(jié)構(gòu)簡...
?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體,能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì),確保氣體的純凈度和質(zhì)量,為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。
恒歌TF 系列全焊接直通型過濾器是一種用于過濾氣體或液體中顆粒污染物的設(shè)備,具有全焊結(jié)構(gòu)、高精度過濾等特點。
擴散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室...
RF系列多孔金屬限流器、通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合、安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負擔、避...