
KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統,特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規范安裝及操作條件下,可確保產品完整性達3,000,000次循環。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...

0F系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容...

BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決...

VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。

HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經高溫燒結制成,具有良好的機械性和剛性,耐高溫、耐腐蝕、透氣,易于清潔的特點;濾芯式的設計可更換濾芯,可以重復使用,使用壽命長;可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質,改善下游干燥機的功能,延長精密...