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工業氣體過濾器
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全焊接直通型過濾器_W型一體式過濾器

  • 半導體潔凈室對氣路系統的密封性要求極高,任何微小的泄漏都可能導致潔凈度下降,影響產品質量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器),以全焊接結構設計為核心,實現了 “零泄漏” 的密封效果,為半導體潔凈室提供可靠的工藝氣體凈化保障。
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半導體潔凈室對氣路系統的密封性要求極高,任何微小的泄漏都可能導致潔凈度下降,影響產品質量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器),以全焊接結構設計為核心,實現了 “零泄漏” 的密封效果,為半導體潔凈室提供可靠的工藝氣體凈化保障。

全焊接結構是該過濾器的核心設計亮點。閥體與過濾元件采用全滲透焊接工藝,徹底消除了傳統連接方式可能存在的密封間隙,從根本上杜絕氣體泄漏風險,滿足半導體潔凈室對氣路密封性的嚴苛要求。同時,全焊接結構還增強了設備的整體強度,使其能承受更高的工作壓力(可達 414bar/6000psig)與更寬的溫度范圍(-28~+482℃),適配各類高要求工藝場景。

材質方面,全焊接直通型過濾器采用整體 316L 不銹鋼打造,具備出色的耐腐蝕性能,可兼容半導體制造中常用的硅烷、氨氣、氯化氫等腐蝕性工藝氣體,避免材質腐蝕導致的凈化失效或雜質析出問題。其超高顆粒攔截率能精準清除 UHP 超純氣流中的微粒雜質,過濾元件公稱孔尺寸涵蓋 0.5、2、7、15、40μm 等多種規格,可根據不同工藝需求靈活選擇(注:W 型一體式僅提供濾網式濾芯)。

在使用便利性上,該過濾器具備獨特的逆流沖洗功能。當氣體逆流時,可直接完成過濾元件的沖洗過程,無需拆卸設備即可實現清潔維護,大幅減少停機時間,提升生產效率。同時,其高通量、低阻力的設計特點,可在高效過濾的同時保障氣路流量穩定,降低壓力損耗。

所有全焊接直通型過濾器均經過 100% 完整性測試與 100% 氨氣檢漏測試,出廠品質符合半導體行業標準。無論是半導體芯片制造的核心工藝,還是精密電子元件生產的潔凈環境,該過濾器都能以零泄漏的密封性能與高效的凈化效果,成為工藝氣體凈化的可靠屏障。

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