深圳恒歌的真空卡環過濾器，是真空系統中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內傳遞大量氣體流，確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都能完美適配。在規范安裝及操作條件下，可確保產品完整性達3.000.000次循環。

產品特點：

● 減少工藝腔體排氣時的湍流：獨特的結構設計，有效降低排氣過程中的氣體擾動，確保真空環境的穩定。

● 適用于多種工藝氣體：廣泛的氣體兼容性，無論是腐蝕性氣體還是惰性氣體，都能高效過濾，保障工藝的順利進行。

● 潔凈室環境內制造、測試、包裝：從生產到包裝，全程在潔凈室環境下完成，確保產品本身的高潔凈度。

● 100% 完整性測試通過：每一件產品都經過嚴格測試，保證在使用過程中的可靠性和穩定性。

● 高效過濾性能：采用先進的過濾技術，確保氣體的高純度，提升產品質量。

● 長壽命設計：高品質材料和精密制造工藝，確保產品的長壽命和高可靠性。