在高壓高純氣體輸送過程中,污染物的存在往往會導致設備故障、制程缺陷等問題,而深圳恒歌高純高壓氣體過濾器正是解決這一痛點的關鍵。其 316L 不銹鋼結構能承受 50Mpa 的高壓,有效抵御腐蝕與高溫,為凈化過程提供穩定的硬件支撐。
該過濾器通過高效過濾技術,可精準去除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物,甚至 0.003μm 的納米級雜質也能被徹底攔截,從源頭避免污染對系統的損害。小型化設計與靈活的螺紋連接,使其能輕松安裝于各類超高純氣體箱系統,減少空間占用。濾芯可更換的特性降低了維護難度,讓系統保養更高效。100% 的完整性與氨氣泄露檢測確保了無泄漏隱患,持續為半導體制程提供高純度氣體,保障設備高效運行,減少因污染導致的停機損失。