TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。

其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

W型一體式過濾器特點：

.全焊接結構，杜絕泄露過濾面積大，流量系數高，

.逆流時，可完成沖洗過程

.閥體和過濾元件全滲透焊接

.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um

.工作壓力可達:414bar(6000psig)

.工作溫度:-28~+482℃

產品參數