T型卡套過濾器專為半導體領域設計,具備以下特點和優勢:
產品特點
● 整體316L不銹鋼結構:堅固耐用,耐腐蝕性強,適用于多種工藝氣體。
● 高通量、低阻力:結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,確保氣體流通順暢。
● 超高顆粒攔截率:精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產純凈度,過濾精度高達0.003μm,顆粒攔截效率達99.9999999%。
● 耐高溫、耐高壓:工作溫度范圍為-28℃至482℃,工作壓力可達414bar(6000psig),適用于潔凈室環境內的制造、測試和包裝。
● 安裝簡便:僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。
● 100%完整性測試與氨氣檢漏測試:確保過濾器的可靠性和安全性。
應用場景
● 半導體制造:用于高純氣體輸送系統,確保氣體的超高純度,保障半導體生產的純凈度。
● 潔凈室環境:適用于潔凈室內的制造、測試和包裝過程,防止微粒污染。
● 實驗室及科研:為高校實驗室、科研檢測單位提供高純氣體過濾,確保實驗精度。
安裝和維護
● 安裝簡便:僅需進行氣路對接與螺母緊固,無需焊接,避免焊接風險,確保密封性。
● 維護便捷:過濾元件易于更換,不需拆卸管路即可清洗和更換濾芯。
T型卡套過濾器憑借其卓越的性能和便捷的安裝維護特點,成為半導體領域工藝氣體凈化的理想選擇。