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半導體氣體過濾器
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不銹鋼燒結金屬微孔VCR過濾墊片_氣體管路密封限流接頭

  • 半導體制造:在半導體生產過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮氣等。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質進入生產設備,同時精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩定性和可靠性。
  • 產品詳情

VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。

密封功能在氣體管路系統中,確保連接部位的氣密性至關重要。VCR 接頭通過高精度的加工和特殊的密封結構,能夠有效防止氣體泄漏。其密封原理通常是利用金屬墊片在接頭擰緊時發生彈性變形,填充連接面的微小間隙,從而達到密封效果。例如,在半導體制造的高純氣體輸送管路中,哪怕是微小的泄漏都可能導致產品質量下降,VCR 接頭的良好密封性能就可以避免這種情況。

過濾功能過濾墊片是其重要組成部分。它可以過濾掉氣體中的微小顆粒雜質。在一些對氣體純度要求很高的行業,如制藥、電子芯片制造等,氣體中的雜質可能會對生產過程產生嚴重影響。例如,在制藥行業的無菌氣體輸送中,過濾墊片可以攔截細菌、灰塵等雜質,保證輸送的氣體符合生產要求。

限流功能:能夠對氣體的流量進行一定程度的限制和調節。這在需要精確控制氣體流量的實驗或生產過程中非常重要。比如在化學實驗的氣體反應過程中,通過 VCR 接頭可以按照實驗要求精確控制反應氣體的流量,以確保反應的穩定性和可重復性。

應用領域:

半導體制造:在半導體生產過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮氣等。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質進入生產設備,同時精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩定性和可靠性。

產品參數

濾芯材質    316L不銹鋼粉末燒結殼體/墊片材質  316L不銹鋼
表面處理   內表面   拋光+電解Ras0.2um最高使用溫度    400°C
外表面     Ra < 1.бum  
顆粒攔截粒徑  ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm
(參考MPPS,所有顆粒)
顆粒攔截粒徑  20.3um


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